TEM Messtechnik GmbH trägt zur Entwicklung eines neuartigen Laserabstandssensor bei.
Motivation
Ein Laserabstandssensor wird entwickelt, der auf einem neuartigen Messprinzip beruht. Im Gegensatz zu herkömmlichen Messverfahren wird die Messoberfläche in die Erzeugung des Laserlichts einbezogen (siehe Abbildung). Dies geschieht, indem die Messoberfläche selbst einen Endspiegel des Laserresonators bildet. Durch gezielte Ansteuerung einer entspiegelten Laserdiode als Verstärkermedium wird erreicht, dass ein Laserpuls zwischen Laserdiode und Messobjekt umläuft. Die Umlauffrequenz ist ein Maß für den Abstand des Sensors zum Messobjekt.
Das MoLECL-Messverfahren besitzt gegenüber herkömmlichen Verfahren den Vorzug, dass damit kollineare Messanordnungen realisiert werden können. Das Verfahren ist hochgenau mit einer Auflösung von besser als 1 µm und zeichnet sich durch eine sehr schnelle Antwortzeit von kleiner als 100 µs aus.
Durch das MoLECL-Verfahren werden die folgenden Vorteile in einem Sensor kombiniert:
Kollineare Messung (geringe Abschattung) Interferometrische Auflösung Hohe Messrate Messung an technischen Oberflächen
